1、超聲波頻率：超聲波頻率越低，在液體中產生空化越容易，作用也越強。頻率高則超聲波方向性強，適合于精細物體的清洗。
2、功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效應越強，速度越快，清洗效果越好。但對于精密的、表面光潔度甚高的工件，采用長時間的高功率密度清洗會對物體表面產生“空化”腐蝕。
3、清洗介質：采用超聲波清洗，一般有兩種清洗劑:化學溶劑和水基清洗劑。清洗介質的化學作用，加上超聲波清洗的物理作用，兩種作用相結合，以對物體進行充分、有效的清洗。
4、清洗溫度：一般來說，超聲波在30℃-40℃時空化效果好。清洗劑則溫度越高越好，作用越顯著。通常實際應用超聲波清洗時，采用40℃-60℃的工作溫度。
5、工件放置方式：若工件在清洗槽內上下、左右緩慢的擺動，則清洗越均勻、有效，清洗效果越好。